সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য সিলিকন ইনফ্ল্যাটেবল সিল সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতা, কম-রিলিজ সিলিকন ইনফ্ল্যাটেবল গ্যাসকেট (কিছু ফ্যাব্রিক শক্তিবৃদ্ধি স্তর সহ)। এই সিলগুলি উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন রাবার (যেমন মিথাইল ভিনাইল সিলিকন রাবার) দিয়ে তৈরি, সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমের মানগুলি পূরণ করে এবং কম গ্যাস রিলিজ, উচ্চ এবং নিম্ন তাপমাত্রার প্রতিরোধ ক্ষমতা (-60℃~230℃), এবং প্লাজমা/রাসায়নিক দ্রাবক ক্ষয় প্রতিরোধ করে। কিছু মডেল কম্প্রেসিভ এবং টিয়ার প্রতিরোধ ক্ষমতা বাড়াতে গ্লাস ফাইবার/অ্যারামিড ফ্যাব্রিক রিইনফোর্সমেন্ট লেয়ার যুক্ত করে।
উচ্চ-বিশুদ্ধতা, কম-রিলিজ সিলিকন রাবার ব্যবহার করে (ISO 14644 ক্লিনরুম মানগুলির সাথে সঙ্গতিপূর্ণ), এই ইনফ্ল্যাটেবল সীলগুলি উদ্বায়ী এবং কণা ঝরানো থেকে মুক্ত, ওয়েফার দূষণ বা প্রক্রিয়া পরিবেশে হস্তক্ষেপ রোধ করে। -60 ℃ থেকে 230 ℃ তাপমাত্রা পরিসীমা সহ, তারা উচ্চ-তাপমাত্রা বেকিং এবং নিম্ন-তাপমাত্রা শীতল অবস্থার জন্য উপযুক্ত, এবং প্লাজমা এচিং এবং রাসায়নিক বাষ্প জমার মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ক্ষয়কারী মিডিয়া প্রতিরোধী।
অপারেশন চলাকালীন, মুদ্রাস্ফীতির উপর সীলগুলি দ্রুত প্রসারিত হয়, স্থিতিশীল ভ্যাকুয়াম/জড় পরিবেশ নিশ্চিত করে উচ্চ বায়ুরোধীতা (লিকের হার ≤10⁻⁹ Pa・m³/s) অর্জনের জন্য সরঞ্জামের দরজা, ভ্যাকুয়াম চেম্বার ইন্টারফেস এবং অন্যান্য মূল উপাদানগুলির বিরুদ্ধে শক্তভাবে সিল করে। ডিফ্লেশনের পরে, তারা নমনীয়ভাবে সংকোচন করে, ঘন ঘন খোলা এবং বন্ধ বা রক্ষণাবেক্ষণ কার্যক্রমকে প্রভাবিত করে না। অন্তর্নির্মিত ফ্যাব্রিক শক্তিবৃদ্ধি সহ মডেলগুলি টিয়ার প্রতিরোধ ক্ষমতা বাড়ায়, এগুলিকে ওয়েফার স্থানান্তর গহ্বরের মতো গতিশীল সিলিং পরিস্থিতিগুলির জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
এই সীলগুলি পরিচ্ছন্নতা, সিলিং এবং জারা প্রতিরোধের জন্য অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে এবং ফটোলিথোগ্রাফি, এচিং, ডিপোজিশন এবং ওয়েফার পরিষ্কারের মতো সমালোচনামূলক সরঞ্জামগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, উন্নত প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা এবং ফলনে অবদান রাখে।